お問い合わせ

液封式真空ポンプ カップリング直結型 多材質対応

プロセス向け
二段式 液封式真空ポンプ

ZV

ミスト・水蒸気の吸引も可能な液封式真空ポンプ。 油水の混合、オイルミストの発生など環境汚染を防止します
【プロセス用】
技術資料図面・取説

用途

  • 製紙(黒液[濃縮])
  • 電機・電子(純水製造[脱酸]・CVD装置[反応済ガズの排気])
  • インフラ産業(蒸気タービン復水器[排気]・スポンジボール洗浄[含浸])
  • 化学(染色[含浸]・石油精製[蒸留])
  • 食品・医療(野菜[冷却]・炭酸水精製[脱気]・食肉、マグロ漬[含浸]・オートクレーブ[減菌])

納入事例

復水器 抽気用 : 蒸気タービン復水器内を減圧させ、タービンの回転効率を上げます。



CVD装置 : CVD装置内を減圧して、ガス状の気体原料を装置内へ安定的に取り入れます。


 

特長

  1. 部品ごとで材質変更や交換が可能なため、メンテナンス費用を大幅削減!
  2. 幅広いラインアップ!
  3. 海外含めて、現地修理での修理対応が可能!
  4. 真空システムでの提案も可能!

予想曲線

標準仕様

外形図

寸法表

よくあるご質問

液封式真空ポンプとはどのようなポンプですか?

ケーシング内に入れた液体を使い、三日月形の気体の空間を作り、膨張圧縮を繰り返すことで動作する真空ポンプです。特徴は金属接触がないので、安定して気体を移送できることです。また、もともと液体を入れているので、水蒸気を含んだ気体や可燃性ガス(溶剤系)の吸引なども可能です。 

液封式真空ポンプの補給水量はどれくらいですか?

カタログの真空ポンプ性能表をご参照ください。なお、補給水量が過多の場合、モータの過負荷につながる場合があります。 

詳細特長

酸性ガスの吸引に「要部ハステロイの液封式真空ポンプ」

化学プラントやCVD(化学蒸着工程)など、酸性ガスを吸引するため
真空ポンプの腐食が問題となります。
数カ月で補修や交換などランニングコストも手間もかかって困る。
そんなお困りごとをニクニのZVが解決します!

 ← 詳細資料はコチラ(PDF)
代表型式:
ZV210 ・ ZV214 ・ ZV219 ・ ZV314 ・ ZV319 ・ ZV325 ・ ZV424 ・ ZV430 ・ ZV435 ・ ZV533 ・ ZV542 ・ ZV638 ・ ZV646

ページの先頭へ戻る